纤维晶片问世 脑机虚拟现实新思路 可拉伸弯曲就像“第二皮肤”



(上海23日综合电)上海复旦大学团队全球首创“纤维晶片”的研究成果发表在最新一期国际顶级学术期刊《自然》上。纤维晶片在弹性高分子纤维内像“寿司卷”一样集成大规模电路,性能与部分医用植入式晶片相当。
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这项研究为脑机接口、电子织物、虚拟现实领域提供新思路。医生戴着含晶片的智能触觉手套实施远程手术,能清晰感知人体触感;游戏玩家佩戴时,能逼真触摸虚拟道具,犹如拥有“第二皮肤”。
复旦大学高分子科学系教授、纤维电子材料与器件研究院先进材料实验室研究员陈培宁表示,纤维系统外接传统晶片,就像给衣服缝上一块硬板,既不舒服也不稳定,团队从2020年开始挑战直接在纤维内部直接造出晶片。相比于传统晶片,纤维晶片最大优势在于具有优异的柔性,可耐受弯曲、拉伸、扭曲的复杂形变,能承受1毫米半径弯曲、30%拉伸形变等变形,甚至在经过水洗、高低温、卡车碾压后,仍能正常工作。
纤维晶片从材料、结构到应用场景与传统晶片都不一样,复旦大学高分子科学系教授、纤维电子材料与器件研究院先进材料实验室负责人彭慧胜表示,纤维晶片的意义并非取代现有的矽基晶片,反而提供新思路。在脑机接口领域,纤维晶片可在直径低至50微米的超细纤维上集成的高密度传感-刺激电极阵列与信号预处理电路,收集到的神经信号信噪比达7.5db,同时具备与脑组织相当的柔性,生物相容性良好。
在虚拟现实领域,基于纤维晶片的智能触觉手套兼具全柔性与透气性,可集成高密度传感与刺激阵列,更精准模拟不同物体的力学触感。研究团队在探索将纤维晶片技术应用到心血管介入器械中,有望辅助医生更精准地完成手术。

电子织物方面,高分子科学系博士生、论文第一作者陈珂表示,纤维晶片让电子织物能够显示动态画面、实现触控交互,功能超越过去只能显示简单图案。陈培宁表示,希望基于纤维晶片的电子织物能像手机、电脑一样。
按照目前实验室级1微米的光刻加工精度,如果将纤维晶片的长度增加到1米,有望达到与电脑中央处理器相当的水平。基于纤维晶片,未来还能将发光、传感的模块直接集成在一根纤维上,形成无需外接设备的全闭环系统,甚至实现自供能。
陈珂说,之前对集成电路和晶片一无所知,也因此“很敢去想”,想尝试“把它做软”,用到一些传统晶片没有办法用到的地方,比如人的皮肤。
研究团队目前初步实现纤维晶片的实验室级规模化制备,与工业量产仍有相当距离。陈培宁表示,实验室采用的制备方法与现有光刻工艺兼容,有望高效对接产业。
团队从事纤维电子材料与器件领域,曾研制出纤维电池、织物显示器,让衣物储能、发光。把晶片做进纤维,难度如同给发丝“雕花”,陈培宁将制造纤维晶片比喻成“在坑坑洼洼的软泥地上建高楼”,还要“让高楼经得起拉伸扭曲”,需要解决光蚀适配、结构稳定性和空间限制三大挑战。
纤维每厘米表面积仅0.01至0.1平方厘米,团队从寿司卷得到灵感,先在弹性高分子表面完成高精度微纳加工,再把它卷成纤维形态,在纤维内部构建多层集成电路,令1毫米长的纤维目前可集成1万个晶体管,与一些商业医用植入晶片相当。
晶片光刻工艺依赖平整的矽晶圆衬底,团队通过等离子刻蚀技术将弹性高分子表面粗糙度降至1纳米以下,“相当于把软泥地打磨平整,为建高楼打下地基。”
光刻过程使用的多种极性溶剂会破坏前期制备的平整表面,团队用高分子材料聚对二甲苯,通过沉积工艺,在弹性衬底表面形成“硬-软异质结构”,如同给电路层穿上护甲,在拉伸、扭转等变形中保持电路稳定。
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